MEMS壓力傳感器有哪幾種類型？

發布時間：2022年03月17日 17時21分12秒

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　　MEMS即微電子機械系統，它所指的是機械、電氣和MEMS信號處理系統的集成。而壓力傳感器是MEMS最早的產品之一。根據工作原理可分為壓阻式、電容式和壓電式。目前MEMS壓力傳感器的類型主要有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器兩種，這兩種都是用在硅片上產生的微型機械電子傳感器。下面就由偉烽恒小編來為大家介紹一下，希望能夠幫助到大家。

　　第一種類型：硅壓阻式壓力傳感器

　　硅壓阻式壓力傳感器采用高精度半導體電阻應變片構成的惠斯通電橋作為機電轉換的測量電路。它具有測量精度高、功耗低、成本低等優點?；菟雇姌虻膲鹤鑲鞲衅鬏敵鰹榱?，如果沒有壓力變化，幾乎就沒有功耗不耗電了。

　　MEMS硅壓阻式壓力傳感器是采用固定在其周圍的圓形應力杯的硅膜內壁。利用MEMS技術將四塊高精度半導體應變計直接刻在表面應力最大的地方，形成惠斯通測量橋。作為機電轉換測量電路，它直接將壓力的物理量轉換為電能，其測量精度能達0.01-0.03%FS。

　　第二種類型：電容式壓力傳感器

　　電容式壓力傳感器使用MEMS技術在硅片上制作出橫隔柵狀。上下兩根橫隔柵狀成為一組電容式壓力傳感器，上橫隔柵在受壓力的情況下從而往下移動來改變上下兩根橫隔柵之間的間距和板之間的電容大小，即壓力=電容量。

　　MEMS壓力傳感器可以采用類似于集成電路的設計技術和制造工藝，從而進行高精度、低成本的大批量生產，在呼吸機、汽車、耳機、手機等領域有著廣泛的應用。

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